光学轮廓仪(3D共焦表面测量系统的3D显微镜)μ

  • n Surf系列产品介绍Surf系列产品采用多孔共焦技术结合CCD图像采集,用带有大量孔的旋转盘替换探测器孔,然后垂直像镜头,镜头在短时间内(几秒钟内几乎准确地测量物体的3D数据)
    测量方法是非接触式的,不会损坏样品表面,不需要在真空环境中测量,并且可以通过显微测量功能观察样品,并且可以在正常环境中使用。严格的工作
    由于使用共聚焦方法,当测量大梯度时,可以比其他方法更精确地测量物体的高度,并且建立立体3D图像,其优点非常明显。
    3D NanoFocussurf定制共焦表面测量系统可根据客户的具体需求定制,定制样品平台和软件,所有功能,自动测量,准确捕获样品的三维结构尺度和超高分辨率光学系统的复杂几何形状,以及3D表面形貌分析过程的完整和完整功能。
    该机器还有一个集成了计算机和测量系统的工作台。您可以将测试报告和其他信息放在工作表抽屉中。这样既方便又可靠。
    nsurf系列用于测量表面的物理外观,并在微纳米尺度上三维地分析3D表面形貌,2D深度剖面,轮廓(深度,宽度,曲率,角度等)。),表面粗糙度等
    精密零件:表面磨损,表面粗糙度,满足表面微观结构要求的零件检测,如发动机气缸,切削刃,生命科学:支架涂层厚度测量等。微机电系统:微器件检测检测环境中的结构结构,如半导体,如医疗工程基因芯片:微电子系统的检测,封装设计和产品的辅助结构。太阳能:太阳能电池网格线的三维形态特征,长宽比的测量,纹理化后的三维形态表示(单晶硅?或晶体金字塔的数量,角度,多晶腐蚀井的形态,密度),粗糙纸张分析:纸张和硬币LED的三维形状测量表面:蓝宝石基板,用于在采样PSS ICPA的外观后测量WAFER的3D形状n技术参数LED光源:λ。= 505 nm,MTBF:50,000 h测量时间:2到10秒测量原理:非接触,共焦X / Y方向:工作台移动范围:100 mm x 100 mm / 200 mm x 200 mm / 300 mm x 300 mm(选项尺寸),电机驱动器地址分辨率X / Y:0。
    方向测量范围3 mZ:350 m,Z方向分辨率:1 nm物镜:10x,20x,50x,100x(可选)离轴摄像机(10x),视场8x 6 mm 2(可选))电脑:高性能连接功能,强大的电脑控制系统和完整的软件,专业工作台:尺寸1550x800x750mm(LxWxH)工作电源:100-240V,50-60Hz,输入:550VA材质:钢,橡胶,大理石重量:约150KG + 80KG洁净室等级:功能等级6(根据DENENISO 14644)

发表时间:2019-04-21

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